直线电机驱动定位台

奈米直线电机NT

产品特性

出色的重复定位精度
工作台导向部采用滚子式“内置齿轨和齿轮形交叉滚子直线导轨”,实现了高刚性和对空气静压轴承无脉动地工作。移动过程中姿势变化极小,重复定位精度出色。
实现1μm以下的定位精度和行走平直度
彻底追求每一个构成零件的精度,精密装配,实现了1μm以下的定位精度和行走平直度。
高速度稳定性高
通过动作极顺畅的“内置齿轨和齿轮形交叉滚子直线导轨”与无心动磁式直线电机、高性能伺服驱动器的搭配,实现了高速度稳定性。(10mm/s移动时,±1%以下)


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